LAM 839-101612-885

描述

产品概述

LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的ESC电动夹持器，用于在半导体制造过程中夹持晶圆。该夹持器采用坚固耐用的设计，可提供高精度和可靠性，并具有以下特点：

额定负载：30 kg

夹持力：150 N

开合速度：0.5秒

精度：±5µm

重复性：±2µm

使用寿命：>100万次循环

通讯接口：RS232

应用领域

LAM 839-101612-885电动夹持器通常应用于以下半导体制造工艺：

晶圆拾取和放置:将晶圆从一个位置移动到另一个位置。

晶圆检测:检查晶圆上的缺陷。

晶圆清洁:清除晶圆上的灰尘和污染物。

晶圆蚀刻:在晶圆上形成微型电路图案。

晶圆沉积:在晶圆上沉积薄膜材料。

产品规格

参数值

型号839-101612-885

额定负载30 kg

夹持力150 N

开合速度：0.5秒

精度±5µm

重复性：±2µm

使用寿命：>100万次循环

通讯接口：RS232

尺寸：200 mm x 150 mm x 100 mm

重量：5 kg

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功能特点

高精度:该夹持器采用高精度的伺服电机和先进的控制技术，可提供高精度的晶圆夹持。

高可靠性:该夹持器采用坚固耐用的设计和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。

易用性:该夹持器具有直观的界面和易于使用的软件，可方便用户进行配置和维护。

可扩展性:该夹持器支持多种通讯接口，可扩展其功能以满足不同的应用需求。

深圳长欣自动化设备有限公司
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