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产品概述
LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的ESC电动夹持器，用于在半导体制造过程中夹持晶圆。该夹持器采用坚固耐用的设计，可提供高精度和可靠性，并具有以下特点：
额定负载：30 kg
夹持力：150 N
开合速度：0.5秒
精度：±5µm
重复性：±2µm
使用寿命：>100万次循环
通讯接口：RS232
应用领域
LAM 839-101612-885电动夹持器通常应用于以下半导体制造工艺：
晶圆拾取和放置:将晶圆从一个位置移动到另一个位置。
晶圆检测:检查晶圆上的缺陷。
晶圆清洁:清除晶圆上的灰尘和污染物。
晶圆蚀刻:在晶圆上形成微型电路图案。
晶圆沉积:在晶圆上沉积薄膜材料。
产品规格
参数值
型号839-101612-885
额定负载30 kg
夹持力150 N
开合速度：0.5秒
精度±5µm
重复性：±2µm
使用寿命：>100万次循环
通讯接口：RS232
尺寸：200 mm x 150 mm x 100 mm
重量：5 kg
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功能特点
高精度:该夹持器采用高精度的伺服电机和先进的控制技术，可提供高精度的晶圆夹持。
高可靠性:该夹持器采用坚固耐用的设计和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。
易用性:该夹持器具有直观的界面和易于使用的软件，可方便用户进行配置和维护。
可扩展性:该夹持器支持多种通讯接口，可扩展其功能以满足不同的应用需求。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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