AMAT 0190-30354 载舟清洗设备

描述

概述

AMAT 0190-30354是一款用于半导体制造的载舟清洗设备，用于去除晶圆表面的污染物。它具有高效率、高可靠性和易于使用的特点，可满足现代半导体制造的需求。

主要特点

清洗工艺:单槽喷淋、双槽喷淋、超声波清洗、化学清洗等

清洗能力:可清洗200mm、300mm等尺寸的晶圆

清洗精度:可去除纳米级的污染物

吞吐量:高达每小时300片晶圆

兼容性:支持各种晶圆材料和结构

自动化程度:高度自动化，可减少人工操作

应用

AMAT 0190-30354可用于各种半导体制造工艺步骤，包括：

晶圆前道工艺:去除光刻胶残留、刻蚀残留、金属污染等

晶圆中道工艺:去除介电层残留、金属污染等

晶圆后道工艺:去除封装材料残留、金属污染等

深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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