AMAT 0010-68129

描述

AMAT 0010-68129是Applied Materials(AMAT)生产的一款用于半导体制造设备中的射频匹配组件。具体来说，它通常作为Vectra IMP源的射频匹配单元。射频匹配单元的作用是将射频发生器的输出功率与等离子体负载进行匹配，以实现高效的能量传输，从而达到最佳的蚀刻或沉积效果。

主要功能与特点

射频匹配:通过调整阻抗匹配，实现射频功率的最大化传输。

保护设备:防止过高的反射功率对射频发生器造成损坏。

提高工艺稳定性:确保等离子体的稳定性，提高工艺的重复性。

定制化设计:根据不同的工艺需求，可以定制化的设计和制造。

应用场景

半导体制造:主要用于半导体芯片的制造过程中，如等离子体蚀刻、沉积等工艺。

微电子制造:在其他微电子器件的制造过程中也有应用。

技术参数

频率范围:覆盖设备所需的射频频率范围。

功率容量:能够承受的最大射频功率。

阻抗匹配范围:可以匹配的负载阻抗范围。

冷却方式:空气冷却或水冷。

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