应用材料0190-72680是应用材料公司（Applied Materials）生产的一款真空计，主要用于半导体制造过程中对真空腔内的压力进行精确测量。作为半导体制造设备的关键组件，它在确保工艺过程的稳定性和产品质量方面起着至关重要的作用。

产品功能与特点

高精度压力测量：能够精确测量极低的真空度，为工艺过程提供可靠的压力数据。

快速响应：对压力变化的响应速度快，能够实时监测真空腔内压力变化。

高可靠性：设计用于恶劣的工业环境，具有较高的可靠性和稳定性。

兼容性强：与应用材料的各种半导体设备兼容，可无缝集成到生产线中。

多种测量范围：可根据不同的工艺需求提供多种测量范围的真空计。

应用领域

半导体制造：

薄膜沉积：控制薄膜沉积过程中的真空度，确保薄膜质量。

等离子体刻蚀：监测等离子体刻蚀过程中的压力变化，保证刻蚀效果。

离子注入：控制离子注入过程中的真空度，提高注入效率。

其他真空应用：

真空镀膜：用于真空镀膜设备的真空度控制。

真空封装：用于真空封装过程的真空度监测。

技术参数

测量范围：从高真空到低真空，可根据需求选择。

精度:测量精度可达±1%或更高。

响应时间:毫秒级或更短。

输出信号:模拟信号（如4-20mA）、数字信号等。

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